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高純度氣體常見應用

不同產業對純度需求不同。

 

實驗室分析儀器

例如:

  • GC
  • GC/MS
  • ICP
  • HPLC

 

通常需要:

  • 5N
  • 6N 等級氣體

因為微量雜質就可能影響分析結果。


 

半導體與電子產業

半導體製程通常要求極高純度。

若氣體含有:

  • 水氣
  • 氧氣
  • 微粒污染

都可能影響產品良率。

 

因此多會使用:

  • Ultra High Purity(UHP)
  • 6N以上等級

 

醫療用途

醫療氣體除了純度外,更重視:

  • 穩定性
  • 法規符合性
  • 儲存與配送安全

因此供應來源與管理流程非常重要。

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